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新宇宙New cosmos XP-703DⅢ半導(dǎo)體材料氣體檢測儀可檢測微量的半導(dǎo)體材料氣體泄漏，可對半導(dǎo)體工廠等使用毒性氣體的場所進(jìn)行泄漏檢測，也可對氫氣相關(guān)設(shè)備提供安全保障。

小型輕量，可以檢查非常微量的氣體泄漏

適合氫氣相關(guān)設(shè)備的安全防護(hù)

搭載的泵有自動停止功能

搭載[自動氣體排氣模式]功能

保護(hù)等級約為IP22（JIS C  0920）。

產(chǎn)品用途：半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等；在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測。

型號：XP-703DⅢ

檢測對象氣體：半導(dǎo)體材料氣體(砷烷、磷化氫、乙硼烷、硅烷、氫氣)

檢測原理：熱線型半導(dǎo)體式

采樣方式：自動吸引式

砷烷AsH?

可檢測泄漏量[Pa·m3/s]：2.53x10??

可檢測濃度[μmol/mol]：0.5

磷化氫PH?

可檢測泄漏量[Pa·m3/s]：1.52x10??

可檢測濃度[μmol/mol]：0.3

乙硼烷B?H?

可檢測泄漏量[Pa·m3/s]：1.01x10??

可檢測濃度[μmol/mol]：0.2

硅烷SiH?

可檢測泄漏量[Pa·m3/s]：2.53x10??

可檢測濃度[μmol/mol]：0.5

氫氣H?

可檢測泄漏量[Pa·m3/s]：5.07x10??

可檢測濃度[μmol/mol]：0.1

反應(yīng)時間：10秒以內(nèi)(探測的氣體為可檢測濃度的3倍時，靈敏度設(shè)定為[4])

報警方式：發(fā)出斷斷續(xù)續(xù)的聲音及報警燈閃爍

電源：5號堿性干電池(LR6)2節(jié)

連續(xù)使用時間：約12小時(5號堿性干電池)[在常溫·常濕條件下]

保護(hù)等級：IP22 相當(dāng)

使用壓力范圍：大氣壓(800~1100hpa)

使用溫濕度范圍：0C~40℃、85%RH以下(無結(jié)露現(xiàn)象)

外形尺寸：W38xH130xD32mm(突出部分除外)

重量：約190g(包含電池、皮套)

標(biāo)配附件：皮套、引導(dǎo)管過濾片、替換用過濾芯、導(dǎo)氣管、點檢氣體、手提掛繩、5號堿性干電池2節(jié)等